支持實(shí)驗(yàn)內(nèi)容：

（1）刻蝕設(shè)備的基本操作實(shí)驗(yàn)

實(shí)驗(yàn)?zāi)康模菏煜た涛g設(shè)備的開(kāi)機(jī)、清洗、溫濕度、換氣、夾具固定、腐蝕液、腐蝕時(shí)間等基本操作流程及注意事項(xiàng)。

（2）多種刻蝕圖形的設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)

實(shí)驗(yàn)?zāi)康模豪霉饪坦に囋O(shè)計(jì)好需要刻蝕的結(jié)構(gòu)圖形，通過(guò)刻蝕工藝制備各類型硅刻蝕結(jié)構(gòu)。基于光刻系統(tǒng)設(shè)計(jì)線條、形狀、倒角等圖形，通過(guò)刻蝕工藝了解各類硅孔結(jié)構(gòu)制備工藝。

（3）不同晶型對(duì)刻蝕圖形的影響實(shí)驗(yàn)

實(shí)驗(yàn)?zāi)康模和ㄟ^(guò)試驗(yàn)不同晶型、不同襯底等參數(shù)，了解刻蝕工藝對(duì)刻蝕圖形的影響。

（4）不同介質(zhì)層對(duì)刻蝕工藝的影響實(shí)驗(yàn)

實(shí)驗(yàn)?zāi)康模和ㄟ^(guò)試驗(yàn)光刻膠、介質(zhì)膜、厚度等參數(shù)，了解不同介質(zhì)層對(duì)刻蝕圖形的影響。

（5）不同環(huán)境參數(shù)對(duì)刻蝕工藝的影響實(shí)驗(yàn)

實(shí)驗(yàn)?zāi)康模和ㄟ^(guò)試驗(yàn)不同溫度、濕度、時(shí)間等參數(shù)，了解不同環(huán)境參數(shù)對(duì)刻蝕圖形的影響。

（6）倒角結(jié)構(gòu)對(duì)刻蝕圖形的影響實(shí)驗(yàn)

實(shí)驗(yàn)?zāi)康模和ㄟ^(guò)設(shè)計(jì)三角、直角、異形等倒角結(jié)構(gòu)參數(shù)，了解倒角結(jié)構(gòu)對(duì)刻蝕圖形的影響。

刻蝕效果圖